高纯度特殊气体/大宗气体微量不纯物分析 Special /Bulk gas analysis
半导体制程用特殊气体或大宗气体, 如: NF3、NH3、CF4、N2、H2、O2、Ar..等其中微量不纯物CO/CO2/N2/Ar/H2/He/O2/THC(CH4) 分析,可藉由气相层析仪搭配脉冲式放电侦测器 (GC-PDHID)、热导侦测器 (GC-TCD)、火焰离子化侦测器 (GC-FID) 进行检测分析
应用范围 : 气体不纯物分析(光电面板制程、LED制程、半导体制程等气体品质确认);气体纯度测试;气体纯化效能分析;特殊气体不纯物分析