NFA-i108s 
在线即时痕量元素分析/监控设备            

高阶半导体制程特用化学品,痕量元素之残留量及纳米粒子粒径量测,可经由厂置布点配管与传统采样瓶方式,以NFA-i108 系列分析设备提供自动化进样、检量线标准添加及最终数据结果判读,显着提升分析实验效率、降低污染及误差

产品特点  


以厂置布点方式将样品自动输送至高灵敏度三段极柱串联式感应耦合电浆质谱仪(ICP-QQQ) 进行元素含量分析
高洁净 PFA 进样管,不受距离限制,设备内建2组采样瓶分析点位
设备经特殊处理,出厂可达常规原素小于 1 ppt (于超纯水状态下)
可直测高浓度种特用化学品 70% HNO3、49% HF、29%NH4OH 、31% H2O2、IPA 、nBAC 等
独家设计在线切换基质(化学品)模式 (由NF 于安全设定下执行切换运行)
NF 独家设计在线校验模块可执行标准添加及稀释功能
提供高浓度元素标准品,含检测分析报告(COA)
优化分析条件,业界唯一可建置 ICP-QQQ 分析方法建立之高端技术能力
设备软件操作简易,单一化的输入样品名称无需繁琐方法设定即可进行分析
自动进样程序包含提前清洗管路功能可置换管路内之化学品,使样品更具代表性
整合式分析系统与优化侦测条件
阈值设定,自动发报提醒
人性化操作接口与远段操控
数据数据库与报告输出系统

产品规格   

说明 描述
量测化学品 70% HNO3、49% HF、NH4F、BOE、98% H2SO4、29% NH4OH 、31% H2O2、IPA 、86% H3PO4、nBAC、TMHA、NMP、DMSO … 等 
其他化学品可客制化开发
量测元素 >60 元素以上  (视侦测器能力及对应化学品可进行开发)
定量物种及范围 高精密检量线配制模块,线性R值>0.995 ; 查核样品回收率达 ±20% 内
设备侦测极限 < 0.5 ppt   (详细数值可参考各化学品之离子浓度侦测极限 MDL 表格)
设备稳定性 RSD <10 %  (5 ppt 浓度 30 元素混合标准品于 49% HF 下进行分析)
添加回收 回收率 ±30 % 
(1 ppt 浓度 30 元素混合标准品于 49% HF / 9.6%H2SO4/31% H2O2下进行分析)
需求气源 纯氮气、零级空气、氩气、氢气、氦气、氧气、混合气体(氩气/氧气) (视分析需求而定)
需求电力 三相 220 V,30 A,50~60 Hz 
尺寸与重量 2320 mm X 1000 mm X  2256 mm ; 500 kg
<<其他相关细节请洽销售人员>>



应用与优势  


广泛应用于半导体高阶制程及电子吉特用化学品工厂
NF为在线设备商唯一具 TAF 认证实验室,超威量分析检测技术能力,依不同化学品优化分析方法以及第三方验证数据能力
特定的清洗程序确保机台洁净度,避免样品交叉污染
程控设定完全由 NF control interface 取代,将操作接口单纯化
专属客户的 COA report 系统,可直接提供客制化报告格式及工作分析日 报表 汇入导出功能,并可衔接远程汇整系统
专业的问题解决能力,可全面性掌握或厘清污染来源并迅速解决 (Professional service team including NFA-i108s & ICPMS)
NF拥有业界最多之 ICPMS应用工程师团队,On-line 元素分析设备系列,可到场进行问题解决、条件设定与新方法开发
选择使用NF On-line 分析设备即迈向无人化实验室的开始