IS-T10R 
採樣瓶自動化微量元素分析設備          

高階半導體製程化學品檢測其中微量元素之殘留量,以傳統方式使用 PFA瓶採樣,裝設於 IS-T10R 即可自動進行檢量線配製與分析儀器操作即時將數據進行判讀並匯出最終結果報告,可克服長時間的等待分析結果,如此先進之分析設備顯著提升分析效率及降低人為誤差

產品特點  


以 PFA 樣品瓶 500 mL 規格批次分析 15組點位,250 mL 規格批次分析 20 點位
加壓輸送至高靈敏度三段極柱串聯式感應耦合電漿質譜儀(ICP-QQQ) 進行元素含量分析
高潔淨 PFA 進樣管,系統自動 Pre purge 功能可避免樣品間交叉污染
設備經特殊處理,出廠可達常規原素小於 1 ppt (於超純水狀態下)
可直測高濃度種特用化學品 70% HNO3、49% HF、29%NH4OH 、31% H2O2、IPA 、nBAC 等
獨家設計線上即時切換基質(化學品)模式 (由NF 於安全設定下執行切換運行)
NF 獨家設計先上校驗模組可執行標準添加及稀釋功能
提供高濃度元素標準品,含檢測分析報告(COA)
設備軟體操作簡易,單一化的輸入樣品名稱無需繁瑣方法設定即可進行分析
批次更換樣品,卸除已分析樣品即可一鍵清洗所有點位樣品管路
閾值設定,自動發報提醒
人性化操作介面與遠段操控
數據資料庫與報告輸出系統

產品規格  

描述
量測化學品 70% HNO3、49% HF、NH4F、BOE、98% H2SO4、29% NH4OH 、31% H2O2、IPA  、86% H3PO4、nBAC、TMHA、NMP、DMSO … 等 
其他化學品可客制化開發
量測元素 >60 元素以上  (視偵測器能力及對應化學品可進行開發)
定量物種及範圍 高精密檢量線配製模組,線性R值>0.995 ; 查核樣品回收率達 ±20% 內
設備偵測極限 < 0.5 ppt   (詳細數值可參考各化學品之離子濃度偵測極限 MDL 表格)
設備穩定性 RSD <10 %  (5 ppt 濃度 30 元素混合標準品於 49% HF 下進行分析)
添加回收 回收率 ±30 % 
(1 ppt 濃度 30 元素混合標準品於 49% HF / 9.6%H2SO4/31% H2O2下進行分析)
需求氣源 純氮氣、零級空氣
需求電力 三相 220 V,30 A,50~60 Hz 
尺寸與重量 900 mm X 990 mm X 2256 mm ; 160 kg
<<其他相關細節請洽銷售人員>>