NFA-1007w
自动化硅片表面逸散性有机污染物分析设备

智能自动化「矽晶圆表面逸散性有机化合物分析」(Silicon Wafer Outgassing Sampling Analysis) 监测设备,自动化取片至石英晶圆加热腔体加热逸散晶圆表面污染物,透过专一性吸附材进行挥发性有机物质接收与浓缩,以热脱附技术将有机物传送至气相层析质谱仪GCMS 量测,简易启动执行指令即可自动量测及智能化结果判读

产品特点  
定点式自动化晶圆表面逸散性有机污染物线上分析设备
可24 小时无人化量测

配合客户端使用之通信方式选择通讯互动模式或手动安装盒(FOUP)

最大晶圆量测尺寸12 吋

有效判断200 种以上高低沸点之挥发性有机化合物

整合式分析系统与最佳化侦测条件

智能自发性检核与调校系统
 
阈值设定,自动发报提醒

校验模组搭配 
  STD&ISTD 标准气体,精准定量特定化合物种
人性化操作介面与远端操控
 
数据资料库与报告输出系统
 
依客户需求建置应用分析方法、优化原有条件或参考国际文献及法规进行设定
 


产品规格  

说明 描述
量测物种 总有挥发性有机物 (TVOC)、挥发性有机化合物 (VOCs) 、重烃质化合物 (Heavy hydrocarbon) 、TMA、DEF、塑化剂类 (Plasticizers)
定量物种及范围 以甲苯进行半定量模式
需求气源 纯氮气、氦气、零级空气
需求电力 三相 220 V,80 A,50~60 Hz
尺寸与重量 2460 mm X 1650 mm X 2250 mm ; 2,000 kg
<<其他相关细节请洽销售人员>>