NFA-1007w
在线自动化硅片表面逸散性有机污染物分析设备
NFA-1007w
自动化硅片表面逸散性有机污染物分析设备
智能自动化「矽晶圆表面逸散性有机化合物分析」(Silicon Wafer Outgassing Sampling Analysis) 监测设备,自动化取片至石英晶圆加热腔体加热逸散晶圆表面污染物,透过专一性吸附材进行挥发性有机物质接收与浓缩,以热脱附技术将有机物传送至气相层析质谱仪GCMS 量测,简易启动执行指令即可自动量测及智能化结果判读
产品特点 |
定点式自动化晶圆表面逸散性有机污染物线上分析设备
可24 小时无人化量测
配合客户端使用之通信方式选择通讯互动模式或手动安装盒(FOUP)
最大晶圆量测尺寸12 吋
有效判断200 种以上高低沸点之挥发性有机化合物
整合式分析系统与最佳化侦测条件
智能自发性检核与调校系统
阈值设定,自动发报提醒
校验模组搭配 STD&ISTD 标准气体,精准定量特定化合物种
人性化操作介面与远端操控
数据资料库与报告输出系统
依客户需求建置应用分析方法、优化原有条件或参考国际文献及法规进行设定
可24 小时无人化量测
配合客户端使用之通信方式选择通讯互动模式或手动安装盒(FOUP)
最大晶圆量测尺寸12 吋
有效判断200 种以上高低沸点之挥发性有机化合物
整合式分析系统与最佳化侦测条件
智能自发性检核与调校系统
阈值设定,自动发报提醒
校验模组搭配 STD&ISTD 标准气体,精准定量特定化合物种
人性化操作介面与远端操控
数据资料库与报告输出系统
依客户需求建置应用分析方法、优化原有条件或参考国际文献及法规进行设定

产品规格 |
说明 | 描述 |
量测物种 | 总有挥发性有机物 (TVOC)、挥发性有机化合物 (VOCs) 、重烃质化合物 (Heavy hydrocarbon) 、TMA、DEF、塑化剂类 (Plasticizers) |
定量物种及范围 | 以甲苯进行半定量模式 |
需求气源 | 纯氮气、氦气、零级空气 |
需求电力 | 三相 220 V,80 A,50~60 Hz |
尺寸与重量 | 2460 mm X 1650 mm X 2250 mm ; 2,000 kg |
<<其他相关细节请洽销售人员>> |