应用范围:
》无尘室环境分析
》硅晶圆表面分析
》太阳硅晶板原物料品管

          
品项 浓度 标准包装
硝酸     Nitric Acid 55% / 69% 560 g/Btl
氢氟酸     Hydrofluoric Acid 38% / 49% 500 g/Btl
过氧化氢     Hydrogen Peroxide 31% / 35% 580 g/Btl
氨水     Ammonia Solution 20% / 29% 450 g/Btl
规格 :
硝酸、过氧化氢、氨水
控管47种微量元素;34种 < 5 ppt,
常态性污染元素 : 铝( Al )、钙( Ca )、铬( Cr )、铁( Fe )、钾( K )、汞( Hg )、镁( Mg )、镍( Ni )、硒( Se )、钠( Na )、钛( Ti )、锌( Zn )、铜(Cu) < 10ppt

氢氟酸
控管47种微量元素;33种 < 5 ppt,
常态性&制程性污染元素 : 铝( Al )、钙( Ca )、铬( Cr )、铁( Fe )、钾( K )、汞( Hg )、镁( Mg )、镍( Ni )、硒( Se )、钠( Na )、钛( Ti )、锌( Zn )、铜(Cu)、砷(As) < 10ppt

 

品项 浓度 标准包装
盐酸     Hydrochloric Acid 20% / 36% 500 g/Btl
硫酸    Sulfuric Acid 96% / 98% 750 g/Btl
磷酸     Phosphoric Acid 86% 750 g/Btl
规格 :
盐酸
控管47种微量元素 < 20 ppt
硫酸
控管47种微量元素;46种 < 20 ppt
1种常态性污染元素 : 锌( Zn ) < 75 ppt
磷酸
控管29种微量元素;26种 < 1 ppb
3种常态性污染元素 : 砷( As ) < 10 ppb、铁( Fe ) < 5ppb、锑( Sb ) < 15 ppb

 

品项 浓度 标准包装
异丙醇     IPA 99% 500 mL/Btl
N-甲基吡啰烷酮     NMP 99% 500 mL/Btl
乙酸正丁酯      nBAc 99% 500 mL/Btl
晶边清洗液     OK-73 - 500 mL/Btl
规格 :
异丙醇 、N-甲基吡啰烷酮 、乙酸正丁酯、晶边清洗液
控管47种微量元素;33种 < 5 ppt,
常态性&制程性污染元素 : 铝 (Al)、钙 (Ca)、铬 (Cr)、铁 (Fe)、钾 (K)、汞 (Hg)、镁 (Mg)、镍 (Ni)、硒 (Se)、钠 (Na)、锡 (Sn)、钛 ( Ti )、锌 (Zn)、 铜 (Cu) < 10ppt