應用:
》無塵室環境分析
》晶圓表面分析
》半導體與太陽能產業之材料控管分析

          
品項 濃度 標準包裝
硝酸 Nitric Acid 55% / 69% 560 g/Btl
氫氟酸 Hydrofluoric Acid 38% / 49% 500 g/Btl
過氧化氫 Hydrogen Peroxide 31% / 35% 580 g/Btl
氨水 Ammonia Solution 20% / 29% 450 g/Btl

規格 :
硝酸、過氧化氫、氨水
控管47種微量元素;34 種 < 5 ppt ,
常態性汙染元素: 鋁(Al)、鈣(Ca)、鉻(Cr)、鐵(Fe)、鉀(K)、汞(Hg)、鎂(Mg)、鎳(Ni)、硒(Se)、鈉(Na)、鈦(Ti)、鋅(Zn)、銅(Cu) < 10 ppt

氫氟酸
控管47種微量元素;33種 < 5 ppt ,
常態性汙染元素: 鋁(Al)、鈣(Ca)、鉻(Cr)、鐵(Fe)、鉀(K)、汞(Hg)、鎂(Mg)、鎳(Ni)、硒(Se)、鈉(Na)、 鈦(Ti)、鋅(Zn)、銅(Cu)、砷(As) < 10 ppt

 

品項 濃度 標準包裝
鹽酸 Hydrochloric Acid 20% / 36% 500 g/Btl
硫酸 Sulfuric Acid 96% / 98% 750 g/Btl
磷酸 Phosphoric Acid 86% 750 g/Btl
規格 :
鹽酸
控管47種微量元素 < 20 ppt,

硫酸
控管47種微量元素 ; 46種 < 20 ppt,
常態性汙染元素 : 鋅(Zn) < 75ppt
磷酸
控管29種微量元素 ; 26種 < 1 ppb
常態性汙染元素 : 砷(As) < 10 ppb、鐵(Fe) < 5 ppb、硒(Sb) < 15 ppb

  

品項 濃度 標準包裝
異丙醇 IPA 99 % 500 mL/Btl
N-甲基吡囉烷酮 NMP 99 % 500 mL/Btl
乙酸正丁酯 nBAc 99 % 500 mL/Btl
晶邊清洗液 OK-73 - 500 mL/Btl
規格 :

異丙醇 、N-甲基吡囉烷酮 、乙酸正丁酯、晶邊清洗液
控管47種微量元素;33種 < 5 ppt ,
常態性汙染元素 : 鋁(Al)、鈣(Ca)、鉻(Cr)、鐵(Fe)、鉀(K)、汞(Hg)、鎂(Mg)、鎳(Ni)、硒(Se)、鈉(Na)、錫(Sn)、鈦(Ti)、鋅(Zn)、銅(Cu) < 10 ppt