IS-T10R 
采样瓶自动化微量元素分析设备          

高阶半导体制程化学品检测其中微量元素之残留量,以传统方式使用 PFA瓶采样,装设于 IS-T10R 即可自动进行检量线配制与分析仪器操作实时将数据进行判读并导出最终结果报告,可克服长时间的等待分析结果,如此先进之分析设备显着提升分析效率及降低人为误差

产品特点  


以 PFA 样品瓶 500 mL 规格批次分析 15组点位,250 mL 规格批次分析 20 点位
加压输送至高灵敏度三段极柱串联式感应耦合电浆质谱仪(ICP-QQQ) 进行元素含量分析
高洁净 PFA 进样管,系统自动 Pre purge 功能可避免样品间交叉污染
设备经特殊处理,出厂可达常规原素小于 1 ppt (于超纯水状态下)
可直测高浓度种特用化学品 70% HNO3、49% HF、29%NH4OH 、31% H2O2、IPA 、nBAC 等
独家设计在线实时切换基质(化学品)模式 (由NF 于安全设定下执行切换运行)
NF 独家设计先上校验模块可执行标准添加及稀释功能
提供高浓度元素标准品,含检测分析报告(COA)
设备软件操作简易,单一化的输入样品名称无需繁琐方法设定即可进行分析
批次更换样品,卸除已分析样品即可一键清洗所有点位样品管路
阈值设定,自动发报提醒
人性化操作接口与远段操控
数据数据库与报告输出系统

产品规格  

说明 描述
量测化学品 70% HNO3、49% HF、NH4F、BOE、98% H2SO4、29% NH4OH 、31% H2O2、IPA  、86% H3PO4、nBAC、TMHA、NMP、DMSO … 等 
其他化学品可客制化开发
量测元素 >60 元素以上 (视侦测器能力及对应化学品可进行开发)
定量物种及范围 高精密检量线配制模块,线性R值>0.995 ; 查核样品回收率达 ±20% 内
设备侦测极限 < 0.5 ppt   (详细数值可参考各化学品之离子浓度侦测极限 MDL 表格)
设备稳定性 RSD <10 %  (5 ppt 浓度 30 元素混合标准品于 49% HF 下进行分析)
添加回收 回收率 ±30 % 
(1 ppt 浓度 30 元素混合标准品于 49% HF / 9.6%H2SO4/31% H2O2下进行分析)
需求气源 纯氮气、零级空气
需求电力 三相 220 V,30 A,50~60 Hz 
尺寸与重量 900 mm X 990 mm X 2256 mm ; 160 kg
<<其他相关细节请洽销售人员>>