IGSM-M2  (AO-82)

氣體混合模組


將氣以特定比例混合,可供予使用小流量氣體應用
精準流量控制輸出流量最大 20 psi,配製精準度高
源頭氣體流量可調比例 50~500 mL
緩衝儲存空間,平衡使用時期之壓力差,確保後端壓力平穩
避免不同種類預混氣瓶庫存,無須耗費高成本購買客製化混合氣體

 


產品規格   
   
說明 描述
適用採氣罐尺寸 採氣罐 8個 6 L / 2個 15 L
真空抽速 250 L/min,真空< 30x10-3 Torr
清洗功能設定 1. 水濕洗程式
2. 氮氣幹式吹掃
洗淨效率 TVOC < 0.5 ppbv
需求氣源 純氮氣
需求電力 單相 220 V,20 A,50~60 Hz 
尺寸與重量 925 mm X  710 mm X  1750 mm ; 250 kg
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