NFA-i108s 
線上即時微量元素分析/監控設備            

高階半導體製程特用化學品,微量元素之殘留量及奈米粒子粒徑量測,可經由廠置佈點配管與傳統採樣瓶方式,以NFA-i108 系列分析設備提供自動化進樣、檢量線標準添加及最終數據結果判讀,顯著提升分析實驗效率、降低污染及誤差

產品特點  


以廠置佈點方式將樣品自動輸送至高靈敏度三段極柱串聯式感應耦合電漿質譜儀(ICP-QQQ) 進行元素含量分析
高潔淨 PFA 進樣管,不受距離限制,設備內建2組採樣瓶分析點位
設備經特殊處理,出廠可達常規原素小於 1 ppt (於超純水狀態下)
可直測高濃度種特用化學品 70% HNO3、49% HF、29%NH4OH 、33% H2O2、IPA 、nBAC 等
獨家設計線上即時切換基質(化學品)模式 (由NF 於安全設定下執行切換運行)
NF 獨家設計線上校驗模組可執行標準添加及稀釋功能
提供高濃度元素標準品,含檢測分析報告(COA)
最佳化分析條件,業界唯一可建置 ICP-QQQ 分析方法建立之高端技術能力
設備軟體操作簡易,單一化的輸入樣品名稱無需繁瑣方法設定即可進行分析
自動進樣程序包含提前清洗管路功能可置換管路內之化學品,使樣品更具代表性
整合式分析系統與最佳化偵測條件
閾值設定,自動發報提醒
人性化操作介面與遠段操控
數據資料庫與報告輸出系統

產品規格  

說明 描述
量測化學品 70% HNO3、49% HF、NH4F、BOE、98% H2SO4、29% NH4OH 、31% H2O2、IPA 、86% H3PO4、nBAC、TMHA、NMP、DMSO … 等 
其他化學品可客制化開發
量測元素 >60 元素以上  (視偵測器能力及對應化學品可進行開發)
定量物種及範圍 高精密檢量線配製模組,線性R值>0.995 ; 查核樣品回收率達 ±20% 內
設備偵測極限 < 0.5 ppt   (詳細數值可參考各化學品之離子濃度偵測極限 MDL 表格)
設備穩定性 RSD <10 %  (5 ppt 濃度 30 元素混合標準品於 49% HF 下進行分析)
添加回收 回收率 ±30 % 
(1 ppt 濃度 30 元素混合標準品於 49% HF / 9.6%H2SO4/31% H2O2下進行分析)
需求氣源 純氮氣、零級空氣、氬氣、氫氣、氦氣、氧氣、混合氣體(氬氣/氧氣) (視分析需求而定)
需求電力 三相 220 V,30 A,50~60 Hz 
尺寸與重量 2320 mm X 1000 mm X  2256 mm ; 500 kg
<<其他相關細節請洽銷售人員>>



應用與優勢  


廣泛應用於半導體高階製程及電子吉特用化學品工廠
NF為在線設備商唯一具 TAF 認證實驗室,超微量分析檢測技術能力,依不同化學品優化分析方法以及第三方驗證數據能力
特定的清洗程序確保機台潔淨度,避免樣品交叉污染
程控設定完全由 NF control interface 取代,將操作介面單純化
專屬客戶的 COA report 系統,可直接提供客製化報告格式及工作分析日 報表 匯入匯出功能,並可銜接遠端彙整系統
專業的問題解決能力,可全面性掌握或釐清污染來源並迅速解決  (Professional service team including NFA-i108s & ICPMS)
NF擁有業界最多之 ICPMS應用工程師團隊,On-line 元素分析設備系列,可到場進行問題解決、條件設定與新方法開發
選擇使用NF On-line 分析設備即邁向無人化實驗室的開始