NFA-ALIS
智慧型採氣罐分析及數據輸出系統

線上監測非粒狀懸浮化學污染物(AMC),針對無塵室環境對產品或製程的良率掌握與提升有關鍵性的影響

產品特點  

提供VOCs 採樣罐分析檢測整合設備
 
機動性與臨時性監控需求,利用採樣罐樣品進行樣品分析,同時也適用一般實驗室分析應用
 
規符合工安採氣罐放置空間設計,層架式 16 組 6L 採氣罐位置 (可彈性調整 2 組 15L 採氣罐)
 
簡易安裝後以軟體操作,單一化的輸入樣品名稱無需繁瑣方法設定即可進行分析,以避免切換方法或設定時發生的人為錯誤
 
全機台使用去活化管路,同時縮短進樣路徑提高進樣效率
自動進樣程序包含 Auto-purge 功能可有效解決高濃度樣品交叉污染問題
 
有效判斷 200 種以上高低沸點之揮發性有機化合物
 
整合式分析系統與最佳化偵測條件
 
校驗模組搭配 STD & ISTD 標準氣體,精準定量特定化合物種
 
人性化操作介面與遠段操控
 
數據資料庫與報告輸出系統

產品規格  

說明 描述
量測物種 總有揮發性有機物(TVOC)、IPA、Acetone、Heptafluorobutyric anhydride 、2-Butanone 等 …
環境檢測化合物種,可依客戶需求進行分析條件設定
定量物種及範圍 高精密檢量線配製模組,可依標準氣體進行定量
設備偵測極限 < 50 pptv  ( 於半導體標準方法進行量測)
設備穩定性 RSD <15 % (於 0.06 ppb 濃度下進行分析)
需求氣源 純氮氣、氦氣
需求電力 三相 220 V,30 A,50~60 Hz 
尺寸與重量 1985 mm X 1070 mm X  1600 mm ; 550 kg
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