應用範圍:
》無塵室環境分析
》矽晶圓表面分析
》太陽矽晶板原物料品管

          
品項 濃度 標準包裝
硝酸     Nitric Acid 69% 560 g/Btl
氫氟酸     Hydrofluoric Acid 49% 500 g/Btl
過氧化氫     Hydrogen Peroxide 31% 580 g/Btl
氨水     Ammonia Solution 29% 450 g/Btl
規格 :
硝酸、過氧化氫、氨水
控管47種微量元素;34種 < 5 ppt,
常態性污染元素 : 鋁( Al )、鈣( Ca )、鉻( Cr )、鐵( Fe )、鉀( K )、汞( Hg )、鎂( Mg )、鎳( Ni )、硒( Se )、鈉( Na )、鉈( Ti )、鋅( Zn )、銅(Cu) < 10ppt

氫氟酸
控管47種微量元素;33種 < 5 ppt,
常態性&製程性污染元素 : 鋁( Al )、鈣( Ca )、鉻( Cr )、鐵( Fe )、鉀( K )、汞( Hg )、鎂( Mg )、鎳( Ni )、硒( Se )、鈉( Na )、鉈( Ti )、鋅( Zn )、銅(Cu)、砷(As) < 10ppt

 

品項 濃度 標準包裝
鹽酸     Hydrochloric Acid 36% 500 g/Btl
硫酸    Sulfuric Acid 96% 750 g/Btl
磷酸     Phosphoric Acid 86% 750 g/Btl
規格 :
鹽酸
控管47種微量元素 < 20 ppt
硫酸
控管47種微量元素;46種 < 20 ppt
1種常態性污染元素 : 鋅( Zn ) < 75 ppt
磷酸
控管47種微量元素;44種 < 1 ppb
3種常態性污染元素 : 砷( As )、鐵( Fe )、銻( Sb ) < 10 ppb