NFA-i108mp 
線上即時成分分析設備          

高階半導體製程化學品成分檢測,以微波電漿原子發射光譜儀為偵測器,搭配使用雙通道漩流霧化室和惰性化 OneNeb 霧化器,呈現極致之霧化效率及穩定可靠監測結果擁有更安全、更經濟、更高效率的操作速度,成分監測範圍可從ppb至% 範圍,全面超越火焰原子吸收光譜儀的分析效率。

產品特點  

以廠置佈點方式將樣品自動輸送至微波電漿原子發射光譜儀 (MP-AES) 進行元素含量分析
高潔淨 PFA 進樣管,不受距離限制,設備內建2組採樣瓶分析點位
NF 獨家設計線上校驗模組可執行標準添加及稀釋功能
提供高濃度元素標準品,含檢測分析報告(COA)
最佳化分析條件,業界唯一可建置 MP-AES 分析方法建立之高端技術能力
設備軟體操作簡易,單一化的輸入樣品名稱無需繁瑣方法設定即可進行分析
自動進樣程序包含提前清洗管路功能可置換管路內之化學品,使樣品更具代表性
閾值設定,自動發報提醒
整合式分析系統與最佳化偵測條件
人性化操作介面與遠段操控
數據資料庫與報告輸出系統

產品規格  

說明 描述
量測化學品 70% HNO3、49% HF、NH4F、BOE、98% H2SO4、29% NH4OH 、31% H2O2、IPA  、86% H3PO4、nBAC、TMHA、NMP、DMSO … 等 
其他化學品可客制化開發
量測元素 視偵測器能力及對應化學品可進行開發
定量物種及範圍 高精密檢量線配製模組,線性R值>0.995 ; 查核樣品回收率達 ±20% 內
設備穩定性 RSD <1 %  (以 0.86% H3PO4 為例長時間之穩定性)
設備穩定性 RSD <1 %  (以 86% H3PO4 中添加 1 ppm Si 為例長時間之穩定性)
添加回收 回收率 ± 1
(以 86% H3PO4 中添加 1 ppm Si 為例長時間之穩定性))
需求氣源 純氮氣、零級空氣
需求電力 三相 220 V,30 A,50~60 Hz 
尺寸與重量 1250 mm X 1250 mm X  1800 mm ; 200 kg
<<其他相關細節請洽銷售人員>>