NFA-1007Advanced
線上氣態分子污染物監控設備

線上監測非粒狀懸浮化學污染物(AMC),針對無塵室環境對產品或製程的良率掌握與提升有關鍵性的影響

產品特點  
定點式VOCs 線上分析設備
可 24小時無人化監控氣態分子污染物 / 揮發性有機化合物
最高定量點位 80點,本機含外接式採樣罐分析點位
布點範圍可達方圓 150 m,涵蓋範圍 70650 m2 ,200 m 以上則需輔以修正係數
有效判斷 200 種以上高低沸點之揮發性有機化合物
整合式分析系統與最佳化偵測條件
智能自發性檢核與調校系統
智慧鎖點功能,單點與矩陣式聯鎖
可限值設定,自動發報提醒
校驗模組搭配 STD & ISTD 標準氣體,精準定量特定化合物種
人性化操作介面與遠段操控
數據資料庫與報告輸出系統 
                                                                                                                          
產品規格  

    
說明 描述
量測物種 總有揮發性有機物(TVOC)、IPA、Acetone、Heptafluorobutyric anhydride 、2-Butanone 等 …
定量物種及範圍 高精密檢量線配製模組,可線性定量物種達 30種以上,R值>0.995 ; 查核樣品回收率達 ±20% 內
設備偵測極限 < 50 pptv  
設備穩定性 RSD <10 % (於 0.06 ppb 濃度下進行分析,37 VOCs混合標準品)
需求氣源 純氮氣、氦氣
需求電力 三相 220 V,30 A,50~60 Hz 
尺寸與重量 1352 mm X 1080 mm X  2200 mm ; 500 kg
<<其他相關細節請洽銷售人員>>